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高真空油扩散泵是一种蒸气射流泵，其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作---真空度在10-2~10-5 pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 pa范围内。

通常扩散泵的性能是以---真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.---真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能------，---真空可达到---的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6pa，起始压力正好是机械泵的---压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压---值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强，则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因

扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好大门，数分钟后，观察真空度，同时检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流---降低。