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扩散泵的缺点是返油问题,加上挡油帽和冷阱及正确操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。
油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究,现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施,使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源:泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计,可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽,它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置,由于不断对冷帽结构的改进,使主要返流---降低。
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通常扩散泵的性能是以---真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。
1.---真空
如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,永磁变频无油真空泵维修,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能------,---真空可达到---的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6pa,起始压力正好是机械泵的---压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1pa后才能开始工作。
2.大反压强
大反压强是指扩散泵所允许的前置压---值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强,则扩散泵就不能正常工作。
3.抽气速率
扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。
4.设置冷阱及低温挡板的原因

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