贝友真空泵厂家-莆田真空泵厂家-厦门太星机电供应批发

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    2023-6-25

黄经理
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扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为---真空镀膜机的正常稳定运行,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,贝友真空泵厂家,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,爱德华真空泵厂家,以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。




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散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解,一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001pa左右),受热稳定性好,不易被氧化,分子量大的高沸点的液体,莆田真空泵厂家,如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净,污染物质留在泵内并重复循环,影响其真空度。




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通常扩散泵的性能是以---真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.---真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能------,---真空可达到---的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6pa,起始压力正好是机械泵的---压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压---值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强,则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因





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