厦门太星机电生产供应-igx1000n半导体真空泵维修

厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修---团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，igx600n半导体真空泵维修，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。

扩散泵中的油在加热到沸腾温度(约为200度)后产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中，随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

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扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为---真空镀膜机的正常稳定运行，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通，停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。