高纯气体分类: 高纯气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。 高纯气体系统及输送流程: 高纯气体输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。 其基本流程是:气源***控制柜***管道传输***vmb***用气点 气体储运要求 ---气体在存储、运输、使用过程中不会被二次污染,对气瓶内部、内壁表面的处理涉及多项工艺,均依赖于长期的行业探索和研发;此外,对于某些具有高毒性或危险性的气体,需要使用负压气瓶储运,冻干机泄漏检测,以减少危险气体泄露风险。
3、所有气体管路的连接为无缝自动焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。 4、工作台上气体出口由单独的阀门来控制 5、气体管路要有明确表标示,同时指示气体的流向。
设计规范及参考: gb50646-2020 <特种气体系统工程技术标准> gb/t20801-2006 <压力管道规范-工业管道> tsg d0001-2009 <压力管道安全技术监察与规程-工业管道> gb50316-2000 <工业金属管道设计规范> gb50236-2011 <现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范> gb9448-1999 <焊接与切割安全> gb50235-2010 <工业金属管道工程施工及验收规范> gb4962-2008 <氢气使用安全技术规范> gb50493-2009 <石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范>
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