2.系统检测
特气管道施工结束后都需要进行压力检测,---检漏,颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪,不用压力表。这样---提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪,精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(cnc)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。

3.大宗特气供气系统 ---供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、cl2、nh3、nf3)等、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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