3、所有气体管路的连接为无缝自动焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。 4、工作台上气体出口由单独的阀门来控制 5、气体管路要有明确表标示,同时指示气体的流向。
高纯供气系统功能: 可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。 高纯供气系统设计 1.材料的选择 特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
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