往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式: 油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙。
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,igx100m半导体真空泵维修,用“p”表示。标准---压压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(atm)。---真空真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为---真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空。
减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。a旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片。
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