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工艺气体管路工程包括操作阀门、减压设备、过滤器、压力表或压力传感器、管件等部分。从储气装置一直到使用生产设备的部分都属于气体管路系统,气体管道工程施工的要求非常严格,永磁变频无油真空泵批发,而气体管路工程安装的难度也较大,首先从设计、再到选材、施工安装这些过程都应极度严谨。
高纯供气系统功能: 可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。 高纯供气系统设计 1.材料的选择 特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,永磁变频无油真空泵批发,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
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