净化系统送回风管、中央空调通风管、工业送排风通风管、系统吸排风管、矿用抽放管、矿用涂胶布风筒等;
高纯供气系统功能: 可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,哪里可以维修厦门分子泵维修维修保养,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。 高纯供气系统设计 1.材料的选择 特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
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