高纯供气系统功能: 可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。 高纯供气系统设计 1.材料的选择 特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
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实验室气路验收要点 1、零部件数量是否符合合同约定的。
2、所有连接点是否安全固定。
3、管道布局是否合理美观。
4、气体标头粘贴是否正确美观。
5、管道连接是否正确。
6、整个系统进行水、氧、颗粒度、---检漏、气密性,x射线 六项测试。

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