高纯供气系统施工 高纯气体管道的施工采用全自动轨道焊接,igx600m干式真空泵维修,同时制定和实施严格的纯施工和qa/qc---程序,对施工的和程序进行严格的监控和管理。整个系统还要进行---检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。 1.施工管理和现场施工的几个注意点 项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解高纯气体的基本知识,从而加深对特种管道施工重要性的认识。
设计规范及参考: gb50646-2020 <特种气体系统工程技术标准> gb/t20801-2006 <压力管道规范-工业管道> tsg d0001-2009 <压力管道安全技术监察与规程-工业管道> gb50316-2000 <工业金属管道设计规范> gb50236-2011 <现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范> gb9448-1999 <焊接与切割安全> gb50235-2010 <工业金属管道工程施工及验收规范> gb4962-2008 <氢气使用安全技术规范> gb50493-2009 <石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范>
高纯气体系统种类: 简单供气系统 简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。
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