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利用水冷挡油帽,使泵的抽速稍有损失外,可使返油率降低。对于许多应用场合是允许的。若在系统附加些管道、阀门和弯管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光学密闭的障板,可---主要返流,莆田永磁变频无油真空泵,但使泵的抽速约下降50%。次要的返流(即冷凝在表面上的泵油迁移和再蒸发是表面温度和泵油蒸汽压的函数,到达真空室的这种返流量取决于设置在泵与真空室之间的冷阱的几何形状和温度,常用液氮( 77k)冷阱来捕集油分子。因此真空室的压力明显地低于泵油的蒸汽压。障板或冷阱不仅必须光学密闭,而且还必须使进入障板或冷阱的油分子与冷面少碰撞一次。对于使用吸附剂(如沸石)的障板,为避免油分子直线飞行,要设置交错的吸附剂托盘。沸石是一种含有直径比气体分子直径稍大的微孔物质。1盎司( 28.35g)沸石内部约有5英亩吸附面积,在小型真空系统中,使用分子吸附剂障板是有效的。因为在低压下,在几个星期内它能连续地吸附碳氢化合物和其它气体,永磁变频无油真空泵维修,并不需要液氮。
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扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:来自橡胶垫圈的气泡;从障板上滴落下的泵油;高的前级耐压;阱除霜;阱内冷冻层的。泵内的原因有:泵油爆沸或沸腾不稳定;在导流管外部油的沸腾;轻气体的低压缩比;喷咀内的液滴;顶喷咀变冷(蒸汽冷凝);锅炉附近泄漏,泵体要检漏。
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